?氫敏熱脫附光譜系統(tǒng)（英文：Hydrogen-sensitive Thermal Desorb Spectroscopy System）檢測樣品受熱時從樣品表面脫附的氫氣，分析樣品中所含氫氣的量以及氫氣吸附和脫附的機(jī)理這是一個可以讓您獲取信息的設(shè)備。

設(shè)備主要由真空室、樣品加熱機(jī)構(gòu)、排氣系統(tǒng)、四極桿質(zhì)譜儀等組成。

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應(yīng)用領(lǐng)域之一是半導(dǎo)體器件。在該領(lǐng)域，氫被認(rèn)為是最難控制的雜質(zhì)，由于其檢測困難，其對器件性能的影響一直被忽視。

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然而，近年來，有報(bào)道稱雜質(zhì)氫是薄膜晶體管中操作不穩(wěn)定和無意載流子摻雜的原因，并且雜質(zhì)氫的重要性開始被認(rèn)識到。

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進(jìn)一步提高器件質(zhì)量和開發(fā)下一代器件需要高靈敏度的氫檢測，而氫解吸分析儀可以滿足這一需求。與其他方法相比還具有成本低、設(shè)備配置簡單等優(yōu)點(diǎn)。其他應(yīng)用領(lǐng)域包括石墨烯等先進(jìn)薄膜材料。